追求元器件的小型化时,如何缩小介质层的厚度成为一个重要的课题。为此,必须尽可能地获取细微、结晶性高的陶瓷材料。微量乳液 (micro-emulsion) 法就是获取这种材料的方法之一。如果在疏水性溶媒 (与水之间的亲和性低的液体) 中将水与适当的表面活性剂 (极端地降低液体表面张力的药剂) 同时分散,就会形成微纳米的微小水滴分散的状态。如果加上钛和钡的复合烃氧基金属溶液,并在这一水滴内进行反应,就可以获得约8nm (纳米) 的晶体化的钛酸钡分散液。由于这一分散液的合成的粒子细微、分散良好,因此呈透明状态。通过基于旋转涂胶法直接成膜,可以获得具有超微粒子,及良好介电特性的薄膜。
根据微量乳液法合成的钛酸钡纳米粒子
此前,人们认为如果缩小钛酸钡粒子的粒子尺寸,粒子就会在 50nm左右失去强介质性能。但使用通过微量乳液法调整的透明分散液形成的薄膜在20nm中也有强介质性能。
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