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村田制作所利用公司成熟的3D MEMS技术和高集成度的电子元件开发并生产陀螺仪元件。
本工业陀螺仪产品提供了一般只能在昂贵的模块产品上方可达到的性能水平。传感元件和测量电路均组装在一个预压模塑料双列直插（DIL）封装内，采用硅胶作为防护手段，并以不锈钢封盖覆盖。全部产品均符合RoHS指令并适用于无铅回流焊接。
慣性力传感器
轴: 加速:3 陀螺仪:3 检测范围: ±8g, ±300dps 幅度响应: 13, 30, 68, 235, 280 or 370Hz 输出: SafeSPI2.0
轴: 加速:3 陀螺仪:3 检测范围: ±6g, ± 125dps或±300dps 幅度响应: 13, 20, 46或300Hz 输出: SPI
轴: 加速:3 陀螺仪:1 (X or Z) or 2 (XZ) 检测范围: ±6g, ±15g, ±300dps 幅度响应: 13, 20, 46, 200, 300Hz 输出: SPI
轴: 加速:3 陀螺仪:3 检测范围: ±8g, ±300dps or ±16g, ±2000dps 幅度响应: 13, 30, 68, 235, 280 or 370Hz 输出: SafeSPI2.0
轴: 加速:3 陀螺仪:2 (X and Z) or 1 (X) 检测范围: ±6g,±8g,±300dps 幅度响应: 13, 20, 46, 200 or 300Hz 输出: SPI
轴: 加速:3 陀螺仪:3 检测范围: ±6g, ±300dps 幅度响应: 13, 20, 46或300Hz 输出: SPI
轴: 加速:3 陀螺仪:1 (X or Z) 检测范围: ±2g, ±125dps or 6g, ±125dps 幅度响应: 加速: 10/60Hz, 陀螺仪: 10/60Hz 输出: SPI
轴: 加速:3 陀螺仪:1 (X) 检测范围: ±2g, ±100dps or 6g, ±300dps 幅度响应: 加速: 30～55Hz, 陀螺仪: 50Hz 输出: SPI
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・例:LQP*TN0N4B0?
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MEMS技术基础知识 总结了实现了高精度和高可靠性的MEMS技术的结构、原理和特点。
采用方：Ponsse Plc
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